蓝宝石单晶炉惠山离子泵的电话整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外，整个炉内不存在排气不畅的地方，即不存在排气死角。有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地将炉内的一氧化硅与氩气的混合气体排出，且利于减少热能和氩气的消耗量，使原有的引晶功率从65KW减到61KW，另外。还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明的直拉式单晶生长炉中，碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和部的排气口之间。氩气流量为30L/min。该氩气流量不但不影响该炉中单晶的生长，平均每个直拉式单晶生长炉每天可少消耗1440L氩气，有效降低了生产成本。石墨具有强度高，抗热震性好，耐高温，抗氧化，电阻系数小，耐腐蚀，易于精密机等优点。保护装置电气系统微机保护装置是用微型计算机构成的继电保护，是电力系统继电保护的发展方向（现已基本实现，尚需发展），它具有高可靠性，高选择性，高灵敏度。微机保护装置硬件包括微器（单片机）为核心，配以输入，输出通道，人机接口和通讯接口等。该系统广泛应用于电力，石化，矿山冶炼，铁路以及民用建筑等。微机的硬件是通用的，而保护的性能和能是由软件决定。

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然后从 该炉上端充入氩气。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成，因此在不断充入氩气的同时，所述真空泵同时将一氧化硅，粉 尘杂质与氩气等的混合气体排出，其中，气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙，以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20。由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀，还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上，从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置，缩短了排气管路的长度，利 于提高排气效率。长兴收购长晶炉设备-口碑商家以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气，影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通，以提 高排气效果。